半導体製造装置向けホルダー　無電解ニッケルメッキ

今回のご依頼は、半導体製造装置に使用される大型のホルダーパーツへの無電解ニッケルメッキ処理のご相談でした。

材質が鋳物であるFCD400ということもあり、素材特有の「巣穴」に処理液が残留し、後の工程で染み出しによる錆や変色が発生してしまうトラブルに他社では解決策が見出せず苦慮されておりました。極めて高い清潔感と精度が求められる半導体分野において、この品質不良の克服が喫緊の課題となっていました。

KSTではFCD400材の巣穴内部まで徹底洗浄するため、前処理条件を抜本的に見直し、洗浄液の浸透と置換効率を高める特殊工程を導入しました。さらに乾燥工程の温度と時間を最適化することで、800Φ×500という大型サイズでも薬液残留を完全に排除し、無電解ニッケルメッキの均一な析出を実現しています。

他社が断るような難易度の高い素材に対しても、高度な工程管理で外観不備を克服したことで、お客様からは「KSTに頼んで正解だった」と品質と技術力に対して非常に高い評価をいただきました。